首先，我們要知道什么是真空閥？公稱壓力低于標準大氣壓力的閥門稱為真空閥。在真空系統中，用來改變氣流方向，調節氣流量大小，切斷或接通管路的真空系統元件都稱為真空閥門。

真空閥通常根據工作壓力，即真空度可分為三大類：

低真空閥：絕對壓力在 101325~0.133Pa

高真空閥：絕對壓力在 0.133~1.33 × 10-6Pa

超高真空閥：絕對壓力在 1.33 × 10-6~1.33 × 10-10Pa

真空閥的作用到底是什么？  如下：

1、開關氣路

如圖1所示，當閥1和閥4關閉，閥2打開時，機械真空泵Ⅲ對容器I抽真空，氣流流經預真空抽氣管路；當閥2關閉，閥4打開時，機械泵可單獨對擴散泵抽真空；當閥1和閥4同時打開時，擴散泵和機械泵可同時工作，對容器進行抽空，此時氣流流經擴散泵?？梢?，閥門在這種操作中的作用是開關氣路，改變氣流的流經路線；

2、控制氣流大小

調節真空度在圖1中，調節閥1的閥蓋開啟角度，即可調節流經管路的氣流量大??；關閉閥2和閥4，通過放氣閥3可以給機械泵Ⅲ的入口放成大氣；通過放氣閥5可以調節容器內的真空度；

3、定量充氣

如圖2所示，在玻璃閥的柱塞上有個一定體積的小洞，當小洞轉向右邊和高壓氣瓶連通時，小洞中就可充滿高壓氣體；當它轉向左邊和真空容器連通時，就把該體積的高壓氣體放進容器中去，這樣就起到了定量充氣的作用。

常用的真空閥有真空球閥、真空蝶閥、真空擋板閥、真空止回閥等